低温液氮探针台
低温液氦探针台特征
1.真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；
2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节...
低温液氮探针台
低温液氮探针台，真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。