线性压电位移台-长行程系列 XYMF-133-100A

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线性压电位移台-长行程系列 XYMF-133-100A

XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位,具有分辨率高,行程大(XY轴行程±50mm),带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作,并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。