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卓聚科技以自主知识产权的科研仪器产业化为起点,着力发展材料科学领域的国产科研仪器装备。公司团队自主研发了多种自主知识产权的科研设备,涵盖了新型低维材料的生长、表征和物性测量各个方面的功能需求。公司研发的七类产品分别为:化学气相沉积(CVD)、扫描探针显微镜(STM)、超真空组件和配件、探针台和低温系统、纳米位移台(Nano Motion)、六轴并联机器人和无掩膜光学曝光机。

化学气相沉积

化学气相沉积

多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统是由我团队成员自主研发,具有自主知识产权的产品。本系统具有低温无催化生长石墨烯,也可对石墨烯进行缺陷检测与修复及各向异性刻蚀等功能,也可用于生长其他二维材料。研究成果发表于各类顶级期刊。
压电纳米位移台

压电纳米位移台

压电陶瓷电机是最近20年发展起来的新技术。使用压电陶瓷电机的定位产品,结构简单,尺寸紧凑,可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程不足,而微米电动台分辨精度不高的问题。 卓聚科技率先在国内研发出能产品化的压电陶瓷电机线性位移平台和旋转台等超精密位移产品,性能指标达到国际先进水平,填补了此领域的国产产品空白。可广泛应用于半导体芯片、光通讯、生物医疗、电子显微、先进制造、科学研究等领域。
扫描探针显微镜

扫描探针显微镜

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜,静电力显微镜,磁力显微镜,扫描离子电导显微镜,扫描电化学显微镜等)的统称,是国际上近年发展起来的表面分析仪器,是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。
探针台和低温系统

探针台和低温系统

探针台和低温系统专注于为半导体领域、微纳米科学领域提供综合性解决方案,为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体及微纳米科学仪器,为祖国微纳米科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力!
超高真空组件和配件

超高真空组件和配件

提供各类高品质的真空零部件和模块