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等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术基础

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术基础

2022-10-24新闻, 行业资讯
今天卓聚科技小编来给大家介绍一下等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的技术基础。 1、等离子体增强化学气相沉积的主要过程 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。由于PECVD技术是通过应气体放电来制备薄膜...
什么是等离子体增强化学气相沉积系统?

什么是等离子体增强化学气相沉积系统?

2022-10-24新闻, 行业资讯
等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD) 等离子体增强化学气相沉积-制取方法 在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是:在化学气相沉积中,激发气体,使其产生低温等离子体,增强反应物...
什么是纳米位移台?纳米位移台的工作原理是什么?

什么是纳米位移台?纳米位移台的工作原理是什么?

2022-10-24企业新闻, 新闻
卓聚科技小编为您介绍一下什么是纳米位移台以及纳米位移台的工作原理是什么。 纳米位移台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链机械系统、传感器、控制器、软件及标定系统组成,是精密仪器和设备领域的共性关键器件。广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空、国防军工等领域。 纳米...
精密位移台知识详细介绍

精密位移台知识详细介绍

2022-10-24新闻
今天卓聚科技小编给您介绍一下精密位移台知识,让您更入的了解位移台。 位移台主要分:电动位移台和手动位移台。 位移台的使用概况及组成:位移台因其高精度、可控性强、实用性高、维护简单、因而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域;以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的位移控...
压电陶瓷纳米位移台厂家-高精密定位台价格

压电陶瓷纳米位移台厂家-高精密定位台价格

2022-06-10新闻
卓聚科技是压电纳米位移台生产厂家,专业生产纳米位移台,精度高,承载能力高,维护速度快,也可以根据需求定制精密位移台。 卓聚科技的位移台有几种类型,多轴纳米位移台,旋转纳米位移台,直线纳米位移台,不同种类的位移台,还有更细分化的型号,下面带大家看一下三种类型的位移台产品图。 多轴纳米位移台 旋转纳米...
压电纳米位移台厂家-位移台价格

压电纳米位移台厂家-位移台价格

2022-05-26新闻, 行业资讯
压电纳米位移台是通过压电马达驱动控制的电动位移台,不同于传统的步进马达,直线电机,电磁马达等驱动形式,压电马达是利用逆压电效应的原理,通过压电陶瓷在电场作用下(一般在共振状态下)产生的形变,由摩擦耦合推动滑台动子的运动,从而驱动平台的精密位置移动。压电纳米位移台断电时保持自锁,从而不消耗能量,不...