电噪声对纳米位移台分辨率的影响
电噪声对纳米位移台的分辨率影响非常明显，它会直接作用在驱动器和反馈传感器上，使位移台无法稳定地保持在理论最小步长上。可以从几个方面理解：
一、对驱动器的影响
纳米位移台常用压电陶瓷作为驱动元件，它的位移与电压成正比。如果驱动电源中存在电噪声，哪怕是毫伏级的波动，也会转化为纳米级甚至亚纳米级的位移抖...
纳米位移台分辨率与灵敏度的区别
分辨率和灵敏度在纳米位移台里是两个相关但不同的概念：
一、分辨率
分辨率描述的是 位移台能够区分的最小位移增量。
它回答的是：这个台子最小能“走”多小的一步？
通常由驱动器性能、反馈传感器精度以及电噪声水平决定。
举例：某台位移台分辨率为 0.5 nm，意味着它可以区分 0.5 nm 的位置变化。
二、灵敏度
灵敏度描述...
纳米位移台温度变化对分辨率的影响
纳米位移台的分辨率会受到温度变化的显著影响，这是因为材料的热膨胀、驱动器性能漂移以及控制系统误差都会随温度改变而影响实际位移。
首先，位移台的支撑结构和平台通常由金属材料制成，这些材料会随着温度升高而膨胀，降低温度时则收缩。即便温度变化很小，微米级的长度也可能产生纳米级的位移漂移，从而影响分辨率。...
纳米位移台闭环控制对分辨率的提升作用
纳米位移台的闭环控制 对分辨率提升作用非常显著，它可以将理论分辨率转化为实际可用分辨率，同时减少非线性误差和滞后效应。下面详细说明：
1. 闭环控制的基本原理
开环控制（Open-loop）：驱动信号直接作用于位移台，位移大小由输入电压或步进决定。
缺点：受非线性、滞后、机械间隙、热膨胀影响，实际位移可能与理论...
纳米位移台线性误差的来源分析
纳米位移台的 线性误差（即实际位移与理论位移不完全一致）是影响定位精度的重要因素，其来源可以从机械、电气和控制三个方面分析：
1. 机械结构因素
导轨或滑块几何误差
导轨直线度、平行度、倾斜度等不理想会导致位移偏差。
丝杠或螺杆传动误差
螺距误差、螺杆旋转轴与导向轴不完全同轴，会引起累积位移误差。
柔性驱...
纳米位移台线性误差校准方法与步骤
纳米位移台的线性误差校准是提高定位精度的关键环节，通常结合 测量（干涉仪或光栅尺）和 闭环补偿 来完成。下面整理常用方法与具体步骤：
1. 校准原理
核心思路：测量台面实际位移与理论位移的差值，构建误差补偿表或函数，在控制系统中进行补偿。
校准可分为 静态校准（慢速步进）和 动态校准（连续运动）两类。
2. 校...