纳米位移台多轴联动时的轴间串扰耦合效应
多轴纳米位移台在执行 XY 或者 XYZ 联动扫描任务时，容易出现轴间串扰耦合的现象，也就是对其中一个轴施加驱动信号产生位移，其余静止轴也会同步产生额外的微小位移输出。这类串扰来源于位移台整体的机械弹性结构，压电陶瓷产生的伸缩力会作用在内部柔性铰链框架上，柔性结构本身不是理想独立刚体，单轴受力形变会带动相...
纳米位移台压电陶瓷迟滞非线性带来的定位偏差
纳米位移台依靠压电陶瓷的逆压电效应实现亚纳米级的精密位移输出，压电迟滞是非共控工况下天然存在的材料响应特性，加载电压上升和下降过程中，相同驱动电压对应的实际位移并不重合，位移曲线形成闭合的迟滞回线。迟滞的幅度和位移行程、驱动电压幅值、电压变化速率直接相关，慢速扫描时迟滞效应相对缓和，当扫描速度提...
纳米位移台压电迟滞非线性
纳米位移台依托压电陶瓷逆压电效应实现纳米级行程驱动，在开环扫描或者未充分标定的闭环工况下，位移输出与驱动电压之间呈现非单值的迟滞特性，是影响精密定位、连续扫描形貌采集的基础物理现象，在长行程、高频往复扫描场景中表现尤为突出。直观来看，给纳米位移台施加匀速上升再匀速下降的三角驱动电压，同一点电压对...
纳米位移台动态蠕变位置漂移
纳米位移台在电压保持恒定、停止扫描进入定点保持状态之后，压电陶瓷会出现缓慢持续的微小位移变化，也就是蠕变现象，在静态定点定位、长时间曝光、定点表征实验中会持续引入位置误差。现象上体现为位移台到达目标坐标、驱动电压稳定不变之后，位置读数不会立刻固定，而是在数十秒到数分钟的时间窗口里缓慢偏移，位移变...
纳米位移台高频扫描下谐振振荡问题
纳米位移台柔性铰链结构存在固有谐振频率，在高速扫描工况下，激励频率接近固有频率时会引发谐振，造成运动轨迹畸变，限制纳米位移台高速扫描能力。
现象：纳米位移台执行快速阶跃运动或者高频连续扫描时，位移曲线出现明显振荡、超调；扫描成像的线条边缘出现周期性波纹；降低扫描速度之后振荡现象明显减弱，低速定位时...
纳米位移台负载偏心引发横向串扰误差
纳米位移台依靠压电陶瓷驱动实现纳米级定位，在样品承载、精密扫描场景中，若样品重心偏离位移台中心，会产生横向串扰，直接降低多轴联动的定位精度，是纳米位移台使用过程中典型的精度问题。
现象：纳米位移台沿目标轴向运动时，非运动轴同步出现额外位移，扫描轨迹发生偏移；进行二维光栅扫描时，线条出现倾斜、弯曲，...