SMG26系列-微型光栅

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SMG26系列-微型光栅

SMG26系列-微型光栅特点:

体积小,结构紧凑;适用于超高真空使用;良好的耐高温性,最高可达100°C;精度高,绝对精度±3μm(20°C);采用玻璃栅尺,膨胀系数小,读数稳定性良好;分辨率高,配合TF15细分接头,读数分辨率可达4nm;安装容许公差大(容许误差±0.1mm)。

 

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