压电纳米位移台

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压电纳米位移台

压电陶瓷电机是最近20年发展起来的新技术。使用压电陶瓷电机的定位产品,结构简单,尺寸紧凑,可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程不足,而微米电动台分辨精度不高的问题。 卓聚科技率先在国内研发出能产品化的压电陶瓷电机线性位移平台和旋转台等超精密位移产品,性能指标达到国际先进水平,填补了此领域的国产产品空白。可广泛应用于半导体芯片、光通讯、生物医疗、电子显微、先进制造、科学研究等领域。
压电多轴纳米位移台

压电多轴纳米位移台

压电多轴纳米位移台,多个纳米位移平台组合而成的多轴运动和定位产品,包括2轴,3轴、4轴、5轴等,形式多样,可根据需求定制。
压电旋转纳米位移台

压电旋转纳米位移台

压电旋转纳米位移台,可以360度旋转平面,由高分辨率压电马达驱动。提供开环和闭环版本。
压电直线纳米位移台

压电直线纳米位移台

直线运动纳米压电马达位移平台提供行程从±7.5mm到±92mm的不同规格的标准化产品,移动分辨率最小可达0.05nm。提供开环和闭环控制版本、大气和真空兼容版本。