压电二维纳米位移台

压电二维纳米位移台

压电二维纳米位移台,XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位,具有分辨率高,行程大(XY轴行程±50mm),带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作,并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。

二维纳米位移台XYMF-133-100A平移台

 

二维纳米位移台XYMF-133-100A平移台尺寸图1二维纳米位移台XYMF-133-100A平移台尺寸图2

尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高) 133.0*133.0*26.1 mm
台面平面度 10  μm
总重量 653.8 g
运动参数
X轴 ±50 mm
Y轴 ±50 mm
运动速度上限 3 mm/s
材料
机身 铝合金 /
驱动 PZT压电陶瓷 /
驱动机构 铍青铜 /
导线 屏蔽线,铜线 /
运动控制
闭环重复定位精度(20℃) 2 nm
闭环位置传感器分辨率 2 nm
开环运动分辨率 0.05 nm
负载
垂直运动方向负载 20 N
沿运动方向负载 4 N
操作环境
操作温度 0~60
操作湿度 温度达到40℃时,相对湿度95%。(非冷凝) /
是否适用真空
其它
控制类型 开环/闭环 /
驱动电压上限 125 V

以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电二维纳米位移台 XYMF-133-100A平移台的介绍,了解更多直接咨询:13736813534