压电三轴纳米探针台

压电三轴纳米探针台

三轴纳米探针台产品图

压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。

压电三轴纳米探针台应用案例:

三轴纳米探针台应用案例图

通过压电纳米位移台的纳米精度定位,两个探针通过与样品接触,完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。

同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。

同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM,例如:日本电子,日立,FEI,TESCAN等。

三轴纳米探针台尺寸图

压电三轴纳米探针台尺寸参数
探针台外形尺寸(长*宽*高) 107.0*75.6*43.3 mm
三轴外形尺寸(长*宽*高) 48.6*33.2*38.6 mm
样品台面平面度 10  μm
探针台总重量 225 g
运动参数
三轴X行程 ±10 mm
三轴Y行程 ±10 mm
三轴Z行程 15.7 mm
运动分辨率 0.05 nm

以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍,了解更多直接咨询:13736813534