压电三轴纳米探针台

压电三轴纳米探针台

压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。

压电三轴纳米探针台应用案例:

三轴纳米探针台应用案例图

通过压电纳米位移台的纳米精度定位,两个探针通过与样品接触,完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。

同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。

同时产品可以适配市面上大多数的SEM,例如:日本电子,日立,FEI,TESCAN等。

压电三轴纳米探针台技术参数

以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台介绍,更多关于位移台的问题请咨询15756003283(微信同号)