压电旋转纳米位移台RF-5950A

压电旋转纳米位移台RF-5950A

压电旋转纳米位移台RF-5950A 可在-269℃的低温下进行开环使用。设备具备合适的安装尺寸。得益于更跟均衡的尺寸设计,设备具有更大的负载能力。

设备支持真空环境。并且支持定制化的开孔位置,满足不同的安装场景。压电陶瓷的驱动模块使用,使设备具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。

旋转纳米位移台RF-5950A产品图

 

旋转纳米位移台RF-5950A尺寸图1旋转纳米位移台RF-5950A尺寸图2

压电旋转纳米位移台RF-5950A尺寸参数
外形尺寸 59.0*59.0*21.5 mm
台面平面度 10  μm
总重量 190 g
材料
机身 铝合金 /
驱动 PZT压电陶瓷 /
驱动机构 铍青铜 /
导线 屏蔽线,铜线 /
粗调模式
行程 360°无限制 °
回转直径 50 mm
运动步进 0.1~7.21
速度上限 0.132 rad/s
细调模式
细调步进 0.16 μ°
细调范围 10.8
闭环运动
重复定位精度 0.66
分辨率 0.33
负载
垂直运动方向负载 10 N
负载扭矩 160 N/mm
操作环境
闭环(开环)操作温度 -20~80(-269~80)
是否适用真空 /
其它
控制类型 开环/闭环 /
运动分辨率 0.16 μ°
驱动电压上限 125 V

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