SEM纳米探针台
SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
SEM纳米探针台特点:
结构紧凑,高刚性。
压电陶瓷位移平台具有很长的使用寿命。
内部根据需求可增加位置反馈。
应用:纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。
适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等。
SEM纳米探针台技术参数
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