压电直线纳米位移台ML-15A

压电直线纳米位移台ML-15A

压电直线纳米位移台ML-15A,大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境。

直线纳米位移ML-15A

直线纳米位移ML-15A尺寸1直线纳米位移ML-15A尺寸2

 

尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高) 33.4*20*12.8 mm
台面平面度 10  μm
总重量 30 g
材料
机身 铝合金 /
驱动 PZT压电陶瓷 /
驱动机构 铍青铜 /
导线 屏蔽线,铜线 /
粗调模式
运动范围 ±7.5 mm
运动步进 50~2000 nm
速度上限 3 mm/s
细调模式
细调步进 0.05 nm
细调范围 3000 nm
闭环运动
重复定位精度 20 nm
分辨率 2 nm
负载
垂直运动方向负载 20 N
沿运动方向负载 4 N
操作环境
操作温度 -20~80
是否适用真空 /
其它
控制类型 开环/闭环 /
运动分辨率 0.05 nm
驱动电压上限 125 V

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