压电直线纳米位移台 Z轴扫描台

压电直线纳米位移台 Z轴扫描台

压电直线纳米位移台 Z轴扫描台,得益于特殊的结构设计,卓聚科技的Z轴扫描台,提供约等于5nm的粗调步进。产品支持真空,低温等应用。

直线纳米位移台 Z轴扫描台

直线纳米位移台 Z轴扫描台尺寸

Z轴扫描台尺寸参数
中间位置外形尺寸(长*宽*高) 45.6*44.0*24.6 mm
样品台面平面度 <5  μm
总重量 78 g
运动参数
Z轴行程 ±1.0 mm
粗调步进 5~200 nm
细调行程 300 nm
细调步进(理论值) 0.005 nm
闭环运动
分辨率 2 nm
负载
竖直方向负载 10 N
操作环境
闭环(开环)操作温度 -20~80(-269~80)
是否适用真空 /

以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电直线纳米位移台 Z轴扫描台的介绍,

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