新闻

纳米位移台的周期性误差，通常指的是由导螺杆、丝杠等机械传动部件固有的制造缺陷（如螺距误差）引起的，在移动特定距离（通常为一圈）时重复出现的定位误差。校准这种误差需要使用高精度的反馈传感器进行闭环补偿。
以下是系统性校准的步骤和方法：
核心原理：基于参考的闭环映射与补偿
校准的本质是比较指令位置和实际位置，建立误差映射表，并进行实时补偿。
标准校准流程
准备工作
高精度参考传感器：这是校准的关键。需要使用比位移台自身精度高一个数量级的传感器，如：
激光干涉仪：提供高精度的长度基准。
高精度电容传感器或光栅尺：同样可以作为可靠的参考。
稳定环境：在校准前，确保设备在恒温、无振动、无气流干扰的环境下稳定足够长的时间（例如24小时），以最小化环境带来的测量误差。
数据采集（建立误差映射表）
将参考传感器安装在位移台上，使其能够精确测量台面的实际位移。
通过控制器，命令位移台以极小且均匀的步长（远小于误差周期）在其全程内移动。
在每一个步长处，同时记录：
指令位置：位移台控制器发出的位置指令。
实际位置：由参考传感器测量到的真实位置。
这样，您就得到了一系列数据点，描绘出整个行程内“指令位置”与“实际位置”之间的差异。
误差分析与建模
将采集到的数据进行分析，计算每个点的误差：误差 = 实际位置 – 指令位置。
绘制误差曲线。对于周期性误差，您会看到一条围绕零值周期性波动的曲线。
控制器软件会利用这些数据，通过算法（如查表法插值或傅里叶分析拟合）生成一个误差补偿表。这个表告诉控制器，当移动到某个指令位置时，需要增加或减少多少位移量来进行修正。
补偿表上传与验证
将生成的误差补偿表上传或烧录到位移台的控制器中。
重新进行测量验证：让位移台再次在全行程内移动，并比较补偿后的实际位置与指令位置。校准成功的标志是 residual error（残余误差）被显著降低，达到一个可接受的水平。