为纳米位移台设计稳定的机械固定结构，目标是减少外界干扰、结构变形和振动传递，以保障其高精度性能。关键设计要点如下： 一、结构稳固性设计原则 高刚性平台 选用花岗岩、铸铁或蜂窝铝合金平台； 保证整体结构重心低、结构紧凑、刚度高，减少共振效应。 避免结构回弹与挠曲 支撑结构应对称布置、受力均匀，减少因温差...

长时间运行后判断纳米位移台是否存在机械磨损，通常可从以下几个维度进行检测和分析： 一、性能变化检测 定位重复精度降低 原点重复返回偏差增大； 同一目标位置多次定位出现偏差，可能表明导轨或驱动机构磨损。 最小步进分辨率变差 微小指令无法被精确执行，或者存在不连续运动； 滑动/滚动部件存在微小松动或表面损伤...