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纳米位移台常见的非线性误差主要包括以下几种类型：
1. 滞回误差（Hysteresis）
表现：当输入信号增加和减少时，输出位移路径不一致，存在迟滞现象。
原因：多由压电材料的内在性质引起，是典型的路径依赖型非线性。
2. 蠕变误差（Creep）
表现：在恒定驱动电压下，位移随时间缓慢变化，呈非线性漂移。
原因：压电材料或机械结构在加载后发生缓慢形变。
3. 非线性驱动响应
表现：位移与驱动电压不呈线性关系（尤其在压电元件或磁致伸缩元件中常见）。
原因：致动器材料本身的非线性、电源输出不稳定等。
4. 热漂移引起的非线性
表现：系统温度变化导致位移响应偏移，非线性程度随时间变化。
原因：热膨胀、电子元件温度依赖性、电缆受热拉伸等。
5. 机械耦合误差
表现：一个方向运动导致其他方向也发生微小位移。
原因：结构设计中各轴耦合、装配不对称、支撑刚性不足。
6. 死区和饱和
表现：在某些输入电压范围内无响应（死区），或超出范围后响应失效（饱和）。
原因：驱动系统或传感器的限制、控制器输出受限等。
这些非线性误差会影响定位精度、重复性和轨迹跟踪能力，通常可通过以下方式减小：
应用闭环控制（如配合电容传感器）；
采用前馈+反馈补偿算法；
优化系统材料与结构设计；
加热控温、恒温工作环境。