纳米位移台在高精度定位和扫描过程中，容易受到自身运动或外界振动的干扰，导致微米级或纳米级误差。为了保证测量和操作的稳定性，可以采取以下措施： 平滑加减速 避免突然启动或停止，在控制软件中设置加速度/减速度 Ramp，可减少超调和机械共振。 降低移动速度 高速移动易产生振动，精密扫描或定位尽量选择低速模式。 ...

纳米位移台调整移动速度的常用方法和注意事项，内容精炼、工程可操作： 一、降低自身运动引起的振动 平滑加减速 避免突然启动或停止。 在控制软件中设置加速度/减速度 Ramp。 对压电或步进位移台尤为重要，可减少超调和机械共振。 降低移动速度 高速移动易产生振动和机械噪声。 扫描或定位尽量选择低速模式。 优化运动路...