新闻

纳米位移台对温度变化极为敏感，哪怕是微小的温度波动（如 ±0.1°C）都可能对其定位精度和重复性造成显著影响。这是因为温度变化会引起材料热膨胀、传感器漂移和驱动特性变化，从而影响平台的实际位移和控制性能。以下是具体影响解析：
1. 材料热膨胀导致定位误差
位移台的构件（如台体、导轨、压电陶瓷、基座等）通常由金属或陶瓷构成，它们都有各自的热膨胀系数。温度升高时，结构微观膨胀，会直接导致：
静态位置发生漂移；
运动路径出现微小偏差；
重复扫描时不能保持相同轨迹。
2. 传感器（尤其是电容位移传感器）受温度影响
高精度纳米位移台通常配有电容传感器或应变计，用于反馈控制位置。然而这类传感器对温度也敏感，可能出现：
零点漂移；
量程偏移；
反馈控制误差。
如果系统没有温度补偿机制，误差会随时间累积。
3. 压电材料性能随温度变化
压电陶瓷驱动器的响应与温度密切相关，温度上升可能导致：
驱动灵敏度变化（相同电压下位移不同）；
滞后特性增强；
热释电效应造成信号漂移；
运动不稳定或抖动增强。
尤其在动态扫描或闭环控制下，压电非线性和热效应会叠加影响控制精度。
4. 控制系统漂移
如果控制器内部或传感放大电路未进行温度补偿，也会因环境温度变化导致误差传入反馈环节，使平台运行偏慢、起跳滞后或抖动增大。
5. 温差引起热流动，影响整体稳定性
在空气环境中，如果位移台上下表面存在温差，还可能因对流或热流引起微小的结构应力，进一步影响稳定性。这对长时间连续测量（如扫描成像或纳米加工）特别不利。