
纳米位移台和普通位移台有什么区别?
纳米位移台与普通位移台在精度、驱动方式、应用场景等方面有明显区别,主要体现在以下几个方面:
1. 定位精度
纳米位移台:精度可达纳米级,适合微小位移和高精度定位。
普通位移台:精度通常为 微米级或更粗,适合一般机械定位或大行程运动。
2. 运动控制方式
纳米位移台:常用 压电驱动或闭环电机,能够实现高分辨率、低滞后运动。
普通位移台:多用螺杆、步进电机或直流电机驱动,精度受机械间隙和摩擦影响较大。
3. 行程范围
纳米位移台:行程相对较小,一般从几十微米到几毫米,强调精度而非距离。
普通位移台:行程大,从几毫米到几十厘米,适合宏观定位。
4. 反馈与闭环控制
纳米位移台:通常配备传感器(电容、激光或干涉),可闭环反馈保证重复精度。
普通位移台:可能没有精密反馈,或者只有粗略编码器,重复性差。
5. 应用场景
纳米位移台:扫描探针显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、光学微操控、纳米级对准和微加工。
普通位移台:机械装配、光学调节、显微镜粗调、一般实验室位移。