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纳米位移台的闭环控制 对分辨率提升作用非常显著，它可以将理论分辨率转化为实际可用分辨率，同时减少非线性误差和滞后效应。下面详细说明：
1. 闭环控制的基本原理
开环控制（Open-loop）：驱动信号直接作用于位移台，位移大小由输入电压或步进决定。
缺点：受非线性、滞后、机械间隙、热膨胀影响，实际位移可能与理论目标偏差很大。
闭环控制（Closed-loop）：在位移台上加装传感器（如电容尺、光栅尺、干涉仪），实时检测实际位置，将实际位移与目标位移比较，通过控制器调整驱动信号，补偿偏差。
核心：反馈补偿 → 实现高精度、高分辨率运动
2. 闭环控制提升分辨率的机制
补偿非线性与滞后
压电驱动台固有的非线性、迟滞和蠕变会导致步长不均匀。
闭环反馈通过实时测量实际位移并修正驱动信号，使最小步长接近理论步长。
减小环境干扰影响
振动、温度漂移、摩擦等造成的微小偏移，可被闭环系统实时修正。
例如，理论步长 1 nm，开环可能因机械滞后只能实现 5–10 nm，有闭环后可接近 1 nm。
提高重复定位精度
闭环可保证每次重复运动到同一位置，避免累积误差。
这对于需要纳米级定位的扫描或加工任务很重要。