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纳米位移台的分辨率会受到温度变化的显著影响，这是因为材料的热膨胀、驱动器性能漂移以及控制系统误差都会随温度改变而影响实际位移。
首先，位移台的支撑结构和平台通常由金属材料制成，这些材料会随着温度升高而膨胀，降低温度时则收缩。即便温度变化很小，微米级的长度也可能产生纳米级的位移漂移，从而影响分辨率。
其次，纳米位移台中常用的压电驱动器会随温度变化出现性能漂移。高温时压电材料的驱动效率下降，导致每个步长减小，低温时可能出现滞后或响应变慢，这都会使理论最小步长与实际位移不一致。
再者，闭环控制系统的传感器如电容尺或光栅尺也会受到温度影响，传感器自身的热膨胀或者电特性漂移，会导致位移反馈不准确，从而降低实际分辨率。
温度变化可能带来的影响包括：在环境温度缓慢变化时，位移台整体漂移，重复定位误差增加；在瞬时温度波动时，扫描或定位过程中会出现噪声或抖动，图像或实验数据模糊；长期温度偏差会导致材料应力累积，闭环调节失效或者滞后增大。
为减缓温度对分辨率的影响，可以采取一些措施：将纳米位移台放在温度稳定的实验室或恒温箱中，启动前让设备和样品充分热平衡，使用低膨胀系数材料制作关键结构，通过闭环控制实时补偿微小漂移，避免局部加热。
总之，温度变化会通过热膨胀、驱动器漂移和传感器误差综合影响纳米位移台的实际分辨率，对于亚纳米级精密定位来说，温度控制和热平衡是保证稳定分辨率的关键。