新闻

判断纳米位移台是否需要重新校准，主要是通过观察其定位精度、重复精度、回差和实际运动表现来确定。以下是详细方法和指标。
一、定位与重复精度检查
重复定位测试
将位移台移动到一个目标位置，然后回到初始位置，重复多次。
测量每次回到初始位置的偏差，如果偏差超过设备标称重复精度的允许范围，说明需要校准。
跨程定位测试
在整个行程内选取若干关键点进行移动和回零测试。
如果发现不同位置的误差明显增大或不均匀，可能是非线性误差积累，需要重新校准。
二、回差与滞回效应检查
前后运动对比
在同一起点，分别从正向和反向移动到目标点。
测量两次到达目标点的位置差，如果回差超过规格，则表明位移台可能需要校准。
滞回曲线分析
对位移台输出与输入信号绘制滞回曲线。
如果滞回面积明显增大或曲线形状异常，也提示需要校准。
三、分辨率与噪声表现检查
如果位移台原本的分辨率下降，或在低速微调时出现跳动或噪音增加，也可能是校准失效或机械磨损引起。
四、长期使用与环境因素
时间因素
长期使用或经历大量循环后，纳米位移台容易产生机械磨损、摩擦变化或温漂积累，需要定期校准。
环境变化
温度、湿度、振动等环境变化可能影响位移台性能，出现明显偏差时也应重新校准。