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校准纳米位移台（nanopositioning stage）的移动范围是确保其位移精度、重复性和线性响应的关键步骤。以下是完整的校准流程与注意事项，不含表格或图标，仅保留清晰的文字说明：
一、为什么需要校准
出厂默认标定值可能不适用于你当前的工作环境（温度、负载等）。
长时间使用后可能出现漂移或非线性偏差。
外接控制器或软件接口更新后需要重新匹配精确位移量。
二、常见校准方式
1. 使用干涉仪或激光测距仪
原理：通过高精度位移传感器（如 Michelson 干涉仪）测量真实移动距离。
步骤：
将干涉仪反射镜固定在位移台上。
输入一段控制信号（如移动 10 微米）。
读取实际测得的位移值。
若有偏差，调整比例因子（scale factor）或控制系统的转换参数。
2. 使用标准光栅尺或编码器标尺
原理：通过带有已知分辨率的光栅尺检测实际位移。
步骤：
将光栅尺贴合在运动路径上。
控制位移台在单位步长下运动，并记录实际移动数据。
计算每步响应是否线性一致。
校准控制软件中的转换比例。
3. 使用已知结构样品（如 SEM、AFM 或光学显微镜下的样品）
适用于科研环境。
方法：
让位移台移动到两个微结构之间（间距已知）。
比较软件记录的位移值与实际间距。
反复测试后修正系统中的偏移量或非线性系数。
三、软件校准流程（以常见控制软件为例）
进入软件设置界面，查找“轴校准”或“移动范围标定”功能。
输入已知的标准步长，例如移动 100 个控制单位。
读取实际测量值（通过干涉仪、光学尺或标准样）。
软件根据差异自动调整校准系数。
保存设置，重新测试以确认是否精确。