纳米位移台对温度是比较敏感的，温度变化往往会直接影响其定位精度和稳定性。 首先是热膨胀效应。位移台本体、导轨和安装结构在温度变化时会发生微小膨胀或收缩，在纳米级精度下，这种变化会直接表现为位置漂移或零点偏移。 其次是驱动与传感器受温度影响。压电驱动、电机和位置传感器在温度变化时，其响应特性和输出信...

纳米位移台的运动曲线设定，核心目的是在速度、精度和稳定性之间取得平衡。 首先是运动曲线类型选择。常见有梯形速度曲线和 S 型曲线。梯形曲线设置简单，但加速度突变，容易引起振动；S 型曲线加速度变化平滑，更适合纳米级定位和扫描应用。 其次是速度与加速度参数。速度不宜设得过高，否则会放大结构振动和跟踪误差；...