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判断纳米位移台是否达到预定位置，关键在于使用反馈机制对实际位置进行检测和确认。以下是常用的方法和步骤：
1. 查看闭环反馈信号（若为闭环系统）
如果纳米位移台是闭环控制（带位移传感器），通常配备电容式、应变式、光学或干涉型传感器，可通过以下方式判断：
读取当前位置值：控制器会实时返回实际位置（如0.001 μm 分辨率）。
比较目标位置和实际位置：若二者的误差在系统允许范围（例如 ±1 nm 或 ±0.01 μm）内，即认为已到达目标位置。
监测稳定时间：位移台可能在接近目标后仍会有微小抖动，通过设定“误差阈值+持续时间”判断是否稳定。
2. 检查控制器状态标志
大多数控制器（如 PI、Physik Instrumente 或 Mad City Labs 等）会返回一类“Move Complete”或“On Target”标志：
“In Position”状态为 true 表示已完成定位；
使用 SDK 或 API 可直接读取标志位，编程中常见为布尔值或状态码。
3. 软件回调或事件响应
在自动化流程中，调用移动命令后等待系统返回“完成”信号；
一些平台如 MATLAB、LabVIEW、Python 接口中，会提供回调机制或阻塞直到到位。
4. 外部测量确认
如果精度要求高，可使用以下外部方法辅助确认：
干涉仪：实时检测目标平台实际位移变化；
摄像头与图像识别：监控平台对准情况或特征点对齐；
激光对准或光斑位置监测：判断是否移动到预定光学通道。
5. 定时判断（开环系统）
若使用的是开环系统（没有反馈），通常只能：
估算运行时间：计算理论所需时间后延时执行下一步；
间接确认位置：如检查是否触发限位器或某些光电开关。
不过开环系统不推荐用于高精度位移判断。