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如何判断纳米位移台是否需要重新校准?

判断纳米位移台是否需要重新校准,通常可以从以下几个方面入手:
1. 定位精度出现下降
如果你发现以下现象,可能说明校准已经偏离标准:
位移台移动到某一预设坐标点后,实际位置偏差超出规格要求(比如超过纳米级误差容限);
多次移动到同一点,重复定位的偏差变大;
扫描图像出现明显错位或畸变,尤其在大范围扫描或多次返回同一位置时。
2. 反馈位置与实际位置不符
当使用闭环传感器(如电容传感器、光学编码器)进行反馈控制时,如果控制软件显示的位置与显微镜、干涉仪等实际观测位置不一致,说明可能需要重新校准。
3. 环境或系统发生变化
下列情况发生后建议进行校准:
位移台长期未使用或经过长时间运行;
系统经历过搬运、震动、温度变化、潮湿等外界干扰;
更换了控制器、传感器或样品托盘;
固件或软件升级之后,位移模型发生变化。
4. 系统自检提示或误差累积
有些控制系统(如使用数字信号处理器的控制器)会在初始化或运行中提供自检误差报告或校准建议;
如果你运行定位路径后,累计误差随路径延长而变大,也可能是因为线性比例、偏移、非线性补偿失效,需要重新标定。
5. 定期维护计划中规定的周期
高精度位移系统一般建议定期校准(例如每半年或一年一次),尤其在对结果精度有严格要求的应用场景(如纳米定位、扫描成像、微纳加工等)中更为重要。