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纳米位移台在扫描电镜（SEM）中是实现高精度样品定位和扫描的关键部件，它的用途主要包括以下几个方面：
1. 准确定位样品
SEM 中需要将样品的特定区域对准电子束，纳米位移台可以在 X、Y、Z 方向进行 纳米级或亚微米级移动。
有助于重复观察同一位置，或者在不同放大倍数下对准目标。
2. 高分辨率扫描
对于纳米尺度的样品结构，电子束扫描需要非常平稳且可控的位移。
纳米位移台可以精确控制扫描步长，保证成像清晰且无漂移。
3. 多点/多区域自动扫描
可编程的多轴位移允许 SEM 自动在多个预定点进行成像或分析。
方便做 多点 EDS（能谱分析）、EBSD（电子背散射衍射） 等实验。
4. 三维成像与倾斜观察
SEM 有时需要倾斜样品观察表面形貌，纳米位移台可以准确控制倾斜角度和 Z 轴高度。
有助于 三维重构、表面粗糙度分析 等应用。
5. 减少人为误差和操作疲劳
通过程序控制位移台，可以自动执行重复扫描或测量，减少手动操作的不稳定性。