排查纳米位移台运动时出现的噪声或抖动需要系统性分析，可能涉及机械、电气、控制或环境等多个方面。以下是详细的排查步骤和解决方法： 1. 初步观察与分类 噪声类型 高频啸叫/蜂鸣：可能来自驱动器（如压电陶瓷的PWM信号）或共振。 低频嗡嗡声：电机或机械传动部件（丝杠、导轨）摩擦、轴承损坏。 不规则咔嗒声：机械松...

纳米位移台出现定位漂移的原因可能涉及多个方面，通常与机械、电气、环境或控制系统等因素相关。以下是常见原因及详细分析： 1. 机械因素 机械蠕变（Creep） 压电陶瓷或柔性铰链等材料在长时间受力后会发生缓慢形变，导致位置漂移，尤其在开环控制中更为明显。 摩擦与滞后（Hysteresis） 机械传动部件（如导轨、丝杠）的...

为纳米位移台设计稳定的机械固定结构，目标是减少外界干扰、结构变形和振动传递，以保障其高精度性能。关键设计要点如下： 一、结构稳固性设计原则 高刚性平台 选用花岗岩、铸铁或蜂窝铝合金平台； 保证整体结构重心低、结构紧凑、刚度高，减少共振效应。 避免结构回弹与挠曲 支撑结构应对称布置、受力均匀，减少因温差...

长时间运行后判断纳米位移台是否存在机械磨损，通常可从以下几个维度进行检测和分析： 一、性能变化检测 定位重复精度降低 原点重复返回偏差增大； 同一目标位置多次定位出现偏差，可能表明导轨或驱动机构磨损。 最小步进分辨率变差 微小指令无法被精确执行，或者存在不连续运动； 滑动/滚动部件存在微小松动或表面损伤...