纳米位移台执行连续扫描、精细步进作业时，台面运动并非平滑连续推进，局部位置出现突然的跳变、卡顿，跳过一小段距离后继续运行，采集到的扫描数据存在断点，成像画面出现横纹断层，运动轨迹无法覆盖设定区域，直接破坏扫描完整性。 出现步进跳跃，首先需要排查驱动波形质量，压电驱动放大器输出波形存在毛刺、畸变，位...

纳米位移台开启闭环控制进行阶跃定位时，台面并非平稳抵达目标点位，而是围绕目标位置出现往复振荡、过冲反弹，运动曲线呈现衰减波动，才缓慢稳定在目标位置。振荡幅度过大时，点位无法快速锁存，定位耗时明显拉长，直接影响对位、扫描采集的效率，是闭环模式下较为常见的动态问题。 振荡超调的核心根源在伺服控制回路参...