纳米位移台的响应速度通常非常快，但其具体快慢取决于驱动方式、控制器设计以及负载条件。下面是详细说明： 一、典型响应速度范围 压电驱动型： 响应时间通常在毫秒级，甚至可以达到微秒级。 这类位移台可实现高带宽，非常适合高速扫描与振动控制。 电机驱动型（如步进电机或伺服电机）： 响应速度相对慢，通常在 几十毫...

纳米位移台的定位误差测量，是评估其精度与控制性能的关键环节。测量时需要使用高精度仪器和严格的实验步骤。以下是常用的测量方法和流程说明： 一、常用测量方法 激光干涉仪法 原理：利用干涉条纹位移测出台面实际位移，与理论指令位移对比。 特点：分辨率极高（可达亚纳米级），是最常用的精度校准手段。 优点：可实时...