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纳米位移台的应用领域有哪些?

纳米位移台的应用领域有哪些?卓聚科技小编为大家介绍一下纳米位移台的应用有哪些和组成。

纳米位移台的特点是纳米级高分辨率及精度、毫秒至亚毫秒级快响应速度、简便的控制方式、低成本等,因此具有非常广泛的应用领域,如显微成像、激光加工(晶圆切割)、微纳车削加工、图像分辨率增强、光学检测移相器等快速微纳致动应用。

纳米位移系统通常由三部分组成:位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能( 如扫描、圆弧插补) 等性能参数,随着电机控制技术的提升,除了电移台机械部件以外,电机和控制器也从很大程度上影响电移台的振动、噪音及电移台的定位精度。而位移台作为整个位移系统的核心,系统的主要技术指标如:位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。

由于电移台系统相对比较复杂,往往涉及到机械设计、电子技术、控制水平、加工能力、装配工艺等各个方面,所以电移台产品虽然被广泛应用,但是目前电移台的各项指标在国内也被深度混淆和误解,其中重要也是容易混淆的技术指标就是电移台的精度。

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