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压电二维纳米位移台性能优势

压电二维纳米位移台 XYMF-133-lODA,为长行程纳米平移台,具有分辨率高,行程大,带有高精度及高分辨率的位置反馈,操作简单,定位糟准,能在真空下使用等优点,其中XYMF-133-100A平移台可实现在XY二维空间上的准确定位,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。
压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,并可在很广的温度范围内工作,运动分解率达到纳米级,能够步进和自描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米台辨率的定位,支持开环/闺环控制。
目前主要应用于电子显微镜原位纳米探针台、半导体芯片检测、光纤焊接、组装、检测与测量、高精度激光对焦、光刻机工件台、微生物操纵手等。

压电二维纳米位移台

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