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传统纳米位移台行程小,性能达不到要求怎么办?

传统纳米位移台行程小而微米电动台分辩精度不高,性能无法达到要求。而压电驱动纳米位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的步长,正好解决了这一问题。目前压电驱动纳米位移台在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。
压电驱动纳米位移台特点
具有运动无需润滑,真空兼容,可在从液氦温区(-269摄氏度)至室温的宽温区内工作等优点。具有步进和扫描双工作模式,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
压电驱动纳米位移台优势
1、结构紧凑,高刚性。
2、室温到液氦工作温度,超高真空兼容。
3、压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
4、带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。

压电直线纳米位移台ML-92A

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