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可以的自主研发的压电驱动纳米位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的步长。更具有运动无需润滑，真空兼容，可在从液氦温区（-269摄氏度）至室温的宽温区内工作等优点。具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
压电驱动纳米位移台产品优势
结构紧凑，高刚性。
零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
室温到液氦工作温度，超高真空兼容。
压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
带位移传感器，提供位置和速度闭环控制。

压电直线纳米位移台MF30-30A

 

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