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纳米位移台的灵敏度是指它能够检测到的Z小位移量。一般来说，灵敏度越高，位移台就能够测量到更小的位移量，但相应的，测量的误差也会变大。
纳米位移台的灵敏度受到多种因素的影响，包括位移台的机械结构、传感器的灵敏度和放大器的放大倍数等。在实际应用中，灵敏度可以通过调整位移台的机械结构和使用更加灵敏的传感器来提高。
例如，使用基于干涉仪原理的激光干涉仪或干涉型压电传感器作为位移检测器可以提高纳米位移台的灵敏度。此外，通过使用高精度的控制电路和放大器，可以进一步提高纳米位移台的灵敏度。
需要注意的是，提高灵敏度并不一定意味着获得更高的测量精度。在实际应用中，需要综合考虑测量范围、灵敏度、测量精度等因素，选择适当的灵敏度设置以获得准确的测量效果。
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