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一个纳米位移台可以同时控制几个方向?

一个纳米位移台可以控制的方向数(自由度,Degrees of Freedom, DOF)取决于其设计结构和应用需求。常见控制方向如下:
1 个方向(单轴纳米位移台)
控制轴向:通常是 X、Y 或 Z 其中一个方向。
应用:单方向扫描、简单位移、对焦等。
2 个方向(双轴纳米位移台)
控制平面:常见为 XY、XZ 或 YZ 两个方向的平面控制。
应用:表面扫描、平面对准、探针定位等。
3 个方向(三轴纳米位移台)
控制三维空间:X、Y、Z 三个正交方向。
应用:三维对准、纳米装配、激光聚焦定位等。
多自由度(≥4轴)
例子:
6轴平台(X、Y、Z 平移 + α、β、γ 旋转)
Tip/Tilt/Z 平台(Z轴 + 两个角度倾斜)
应用:复杂微组装、光学对准、干涉仪、半导体封装中的晶圆级旋转调节等。
补充说明:
模块组合:许多高精度系统将多个单轴或双轴位移台叠加或组合,构建出多轴系统。
同步控制:多轴平台通常搭配闭环反馈(如电容传感器、光栅尺)和高性能控制器,实现亚纳米级同步控制。