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判断纳米位移台运行状态是否正常，需要从以下几个关键方面进行综合观察与评估：
1. 位置响应是否精确稳定
实时位移是否与指令值一致，是否存在超调、滞后或漂移。
响应速度是否异常变慢，是否出现抖动、突跳或死区。
可通过闭环反馈信号、位置传感器（如电容、干涉仪）来判断。
2. 轨迹跟踪是否平滑
在执行扫描、插补、连续运动等指令时，轨迹是否平滑连续，是否出现突变或卡顿。
跟随误差是否维持在允许范围内。
3. 驱动信号是否正常
驱动电压、电流波形是否平稳，有无异常波动、过高或零输出等现象。
控制器是否发出报警（如超压、过载、超限、开路）。
4. 噪声与振动情况
正常运行应伴随低噪声、低振动，如出现异常响声、共振或明显机械震动，可能存在结构松动、失稳、负载异常等问题。
5. 热量变化是否异常
连续运行后温升是否正常，若电机、控制器、平台局部过热或温差异常，需检查是否存在摩擦过大、驱动异常或散热不足。
6. 重复定位精度是否下降
多次移动回同一点位置，是否出现重复性偏差增大，可能是系统老化、磨损或标定误差引起。
7. 是否有通信或控制异常
软件界面是否频繁提示错误、控制信号是否能实时响应、指令是否失效等，可能是通信干扰、控制器故障或接口不稳定所致。
8. 长期稳定性
观察长时间运行过程中是否出现逐渐加剧的误差、漂移或不稳定现象，如有，需考虑热漂移、电气漂移或机械磨损等因素。