
纳米位移台的防震设计有哪些常用方法?
纳米位移台对环境振动非常敏感,防震设计是确保其高精度、高稳定性运行的关键。常见的纳米位移台防震设计方法主要包括以下几类:
减振隔离系统
使用弹簧、橡胶垫、空气悬挂等减振元件,将纳米位移台与地面振动隔离开来。
空气减振台(气浮台)是实验室中较常用的隔振方式,能有效隔绝低频振动。
刚性支撑结构设计
位移台本体采用高刚性材料和结构,减少自身因共振产生的振动放大。
结构设计时通过有限元分析(FEA)优化形状,避开易产生共振的频率段。
主动振动控制
配备传感器实时监测振动信号,结合主动执行器(如压电执行器)对抗振动干扰。
主动控制系统能有效补偿低频、中频振动,提升稳定性。
环境振动源管理
实验室环境选址避免机械设备、交通噪声等振动源附近。
使用专用防振地板或安装阻尼地垫减少环境传播的振动。
系统质量与阻尼匹配
通过增加系统质量和阻尼,降低振动的传递效率。
常用阻尼材料包括粘弹性材料、阻尼胶等。
机械结构的紧固与减小自由度
保证所有连接部件牢固紧固,避免松动引发共振。
限制多余自由度,减少不必要的运动和振动响应。