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清洁纳米位移台表面时，须谨慎操作，以避免损伤结构、污染传感器、影响运动性能。正确的清洁方法可以延长设备使用寿命并保持其高精度性能。以下是安全、有效的清洁步骤和注意事项：
一、清洁步骤
1. 关闭电源并断开控制连接
确保位移台停止，断开电源和信号线；
防止静电或意外运动造成伤害或设备损坏。
2. 准备清洁工具与材料
无尘擦拭布（或镜头纸）；
医用棉签（低掉毛型）；
弱挥发性清洁剂，如：
无水乙醇；
异丙醇（IPA）；
电子级清洗液；
防静电手套或指套；
吹尘球（非压缩气罐）用于吹走灰尘。
3. 表面清洁
用吹尘球或干净无尘布轻轻拂去表面灰尘；
对有油迹、指纹或轻微污染部位：
将少量异丙醇或乙醇滴在无尘布或棉签上；
轻柔地擦拭表面，避免渗入导轨或缝隙；
不可直接往位移台上喷洒清洗液。
4. 边角区域处理
使用沾取酒精的棉签顺着缝隙清洁滑轨边缘，注意不要用力插入缝内；
若有导轨保护盖或防尘条，可适度掀开轻拭其边缘。
5. 干燥与恢复
用干棉签或布再次擦拭，确保无残留液体；
完全干燥后再通电使用。
二、注意事项
清洁时要注意：
避免溶液渗入运动机构内部；
不要使用含腐蚀性或挥发残留物的溶剂（如丙酮、汽油、稀释剂）；
不要用金属物体刮擦表面，防止划伤；
清洁时手不要直接接触关键面，以防留下油污或静电；
不要强行擦拭电缆接口、传感器窗口等区域。
⚠ 若设备用于洁净室或真空环境：
应使用电子级、低挥发残留的清洗剂；
符合低粒子释放和不带静电标准的擦拭材料。