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如何避免纳米位移台运行时的噪声?

纳米位移台在运行时出现噪声,主要来源有三类:
机械共振:结构件、支架或安装面在特定频率下被激发。
控制参数:加速度过大、闭环带宽过高或 PID 参数不合适。
电磁/线缆干扰:驱动线与信号线耦合、接地不好、电源有噪声。
避免噪声的方法可以这样做:
安装面要稳固:底座紧固,避免悬空或薄弱件共振;必要时加配重或阻尼材料。
运动要平顺:指令不要太“急”,用 S 曲线轨迹、降低加速度和加加速度。
控制器整定合适:带宽不要一味开高,遇到明显的啸叫时先降低带宽,或加陷波滤波。
线缆与电源管理:功率线和传感线分开走,接地采用单点方式,电源尽量干净。
环境控制:避免气流直吹,减小外部振动源的耦合。