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很多纳米位移台本来就是为了 真空环境（包括高真空甚至超高真空） 设计的，但能不能直接放进你的真空腔体，要看具体型号和材料。一般需要注意以下几点：
1. 材料与润滑方式
真空兼容的位移台会采用 低放气率金属材料（如不锈钢、钛、铝合金），避免塑料或易挥发胶水。
传统润滑脂在真空中会挥发或污染，需要选用 干润滑（石墨膜、MoS₂ 薄膜等） 或真空兼容的润滑剂。
2. 驱动方式
压电纳米位移台（Piezo stage）非常适合真空使用，因为它没有传统电机的摩擦副，真空兼容性好。
如果是电机驱动型，要用 真空兼容电机（步进或直流），并确保绕组和绝缘材料不会在真空中放气。
3. 电缆与接头
电缆需要用真空兼容绝缘层（如 Kapton 线），而不能用常见的 PVC。
真空穿墙接口须密封良好，避免漏气。
4. 散热问题
真空里没有空气对流，散热主要靠 热传导和辐射，所以连续大功率运行的驱动器可能过热。要确保位移台与腔体壁良好接触，以便导热。
5. 清洁与预处理
进入真空腔前要对位移台进行 清洗和烘烤，减少水汽和有机物放气。