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纳米位移台在高精度工作时，如果出现共振，会导致 震动放大、定位精度下降甚至损伤设备。要避免共振，可以从以下几个方面入手：
1. 优化运行参数
避免驱动频率接近固有频率：每个平台都有固有谐振频率，如果控制器的扫描频率或步进频率接近这个值，就容易引起共振。
调整加减速曲线：采用平滑的加速/减速曲线（如 S 曲线），避免突然启停引发机械震动。
降低运动速度或步进频率：当发现某一速度下震动明显，可适当降低运行速度。
2. 结构与安装
稳固安装平台：确保位移台固定牢靠，底座和安装架足够刚性，不存在松动。
减振隔离：使用减振台、气浮台或橡胶垫隔离外部振动。
避免线缆牵拉：电缆应悬挂或合理布线，避免在运动时对平台产生额外力。
3. 环境因素
远离强振源：如真空泵、空调压缩机、走动的人，都会把低频振动传到位移台。
控制温度波动：热胀冷缩也会叠加到机械系统中，影响共振状态。
4. 控制系统优化
调整伺服或压电控制器参数：如 PID 参数、滤波器设置。
加入阻尼：某些纳米位移台可选用带阻尼的版本，或在控制算法中引入电子阻尼。