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纳米位移台的精度非常高（达到纳米甚至亚纳米级），因此在使用过程中如果出现误操作，不仅会导致数据不准确，还可能损坏设备。避免误操作可以从以下几个方面着手：
1. 操作前准备
确认负载：确保样品或工件的重量不超过额定负载。
环境检查：避免在强震动、强电磁干扰或温度波动较大的环境下使用。
初始化：开机后先执行归零或校准，确保位移台在可控范围内。
2. 软件与控制设置
限制行程：在控制软件中设置运动范围上限，防止过冲。
速度控制：避免一开始就设定过高速度，先用低速调试，确认正常后再提高。
路径规划：在执行复杂扫描或重复运动时，提前规划好轨迹，避免随意操作。
闭环模式：优先使用闭环控制（有传感器反馈），减少滞后和累计误差。
3. 操作过程
避免手动强行推动：不要用手或外力去推位移台，否则会损坏驱动机构。