
纳米位移台分辨率与灵敏度的区别
分辨率和灵敏度在纳米位移台里是两个相关但不同的概念:
一、分辨率
分辨率描述的是 位移台能够区分的最小位移增量。
它回答的是:这个台子最小能“走”多小的一步?
通常由驱动器性能、反馈传感器精度以及电噪声水平决定。
举例:某台位移台分辨率为 0.5 nm,意味着它可以区分 0.5 nm 的位置变化。
二、灵敏度
灵敏度描述的是 位移台对输入信号或外界刺激的响应能力,即输入变化引起的输出变化幅度。
它回答的是:给一点输入,台子能“感觉到”并产生多大位移?
在压电驱动台中,灵敏度通常指“电压–位移系数”(例如 10 nm/V)。
灵敏度越高,单位电压产生的位移越大,但这不代表分辨率更高。
三、区别总结
分辨率是“最小能分开的距离”,强调能否可靠地区分细微位移。
灵敏度是“输入和输出的比例关系”,强调响应幅度大小。
举个比喻:
灵敏度好比“油门的灵敏程度”,踩一点油门,车子加速多少。
分辨率好比“能控制车速的最小变化”,能否稳定在 60.1 km/h 而不是只能到 61 km/h。
四、关系
高灵敏度并不一定意味着高分辨率,因为如果噪声大,虽然位移响应大,但无法控制到细微的步长。
高分辨率也不一定需要高灵敏度,关键在于驱动和反馈系统能否稳定分辨微小变化。