新闻

电噪声对纳米位移台的分辨率影响非常明显，它会直接作用在驱动器和反馈传感器上，使位移台无法稳定地保持在理论最小步长上。可以从几个方面理解：
一、对驱动器的影响
纳米位移台常用压电陶瓷作为驱动元件，它的位移与电压成正比。如果驱动电源中存在电噪声，哪怕是毫伏级的波动，也会转化为纳米级甚至亚纳米级的位移抖动，导致台面无法静止在目标位置，分辨率被限制。
二、对传感器的影响
闭环控制系统依赖电容尺、光栅尺或干涉仪等高精度传感器。如果传感器信号中夹带噪声，反馈信息就会出现抖动，控制器会不断修正，结果表现为位移的微小抖动或不稳定，实际分辨率降低。
三、对控制系统的影响
控制器本身的电子元件也会产生噪声，比如运算放大器的热噪声、模数转换器的量化噪声等。如果控制系统信噪比较低，就无法识别亚纳米级的有效位移变化，从而限制分辨率。
四、表现形式
在实验中，电噪声的影响常表现为：
位移曲线出现抖动，无法稳定在某一点
重复定位不一致
扫描图像出现条纹或模糊
标称的亚纳米分辨率无法实际达到
五、减缓方法
使用低噪声电源和屏蔽电缆，保证驱动信号稳定
为控制器和传感器做好电磁屏蔽和接地，避免环境电磁干扰
在控制系统中增加滤波措施，减少高频噪声的影响
将高精度实验放在低电磁干扰的环境中，远离大功率电机、开关电源等噪声源。