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实现纳米位移台的平稳起停对于高精度定位和实验稳定性非常重要，可以从以下几个方面入手：
1. 优化运动控制算法
S型加减速（S-curve）控制：通过在启动和停止阶段缓慢增加或减少速度，避免瞬间加速度过大导致振动。
分段加速度控制：将起动和停止过程分为多个加速段，平滑过渡。
前馈与闭环结合：闭环控制实时监测位移，前馈控制预测运动趋势，减少超调或震荡。
2. 调整驱动参数
合理设置最大速度、加速度和减速度，避免超出机械和驱动器的响应能力。
对电机驱动器或压电驱动器使用低通滤波，减少高频噪声和震动。
3. 改善机械结构
增加刚性与减振：使用高刚性导轨、支撑件和减振底座，减少机械共振。
降低摩擦不均匀：保持导轨润滑均匀，避免起停瞬间摩擦波动导致跳动或振荡。
4. 闭环反馈优化
使用高精度位移传感器（如光栅尺或电容传感器）实时监测位置。
调整 PID 参数，平衡响应速度与稳定性，防止起停时过冲。
5. 软件平滑处理
在控制软件中加入速度平滑曲线生成，避免突变速度命令。
对高精度扫描任务，可采用分段缓慢扫描，平稳起停后再进行高速段移动。