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清理纳米位移台滑轨时需要非常小心，因为滑轨直接影响位移台的精度和寿命。操作步骤和注意事项如下：
一、准备工作
断电：确保位移台及控制器完全断电，避免意外运动造成损伤。
清洁环境：在无尘或低尘环境下进行，避免灰尘再次污染滑轨。
工具和材料：准备柔软无绒布、棉签、专用无水酒精或电子级清洁剂，以及少量适合的润滑剂或真空脂（如果需要补充）。
二、清理步骤
表面初步清洁
用干净无绒布轻轻擦拭滑轨表面，去除灰尘和松散颗粒。
深度清洁
用棉签蘸少量无水酒精或专用清洁剂，沿滑轨方向轻轻擦拭，去除顽固污垢或旧润滑剂残留。
注意避免液体渗入电机、传感器或其他电子部件。
干燥处理
清洁后让滑轨自然风干或用无尘布擦干，确保没有残留清洁液。
重新润滑
根据厂家说明，涂抹少量适合的润滑剂或真空脂，沿滑轨均匀分布。
润滑剂不要过多，避免吸附灰尘或流入传感器区域。