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纳米位移台调整移动速度的常用方法和注意事项，内容精炼、工程可操作：
一、降低自身运动引起的振动
平滑加减速
避免突然启动或停止。
在控制软件中设置加速度/减速度 Ramp。
对压电或步进位移台尤为重要，可减少超调和机械共振。
降低移动速度
高速移动易产生振动和机械噪声。
扫描或定位尽量选择低速模式。
优化运动路径
避免长距离高速连续移动。
对重复扫描，可分段移动并加入停顿。
二、减小外界环境振动
安装减震平台
气浮桌、橡胶垫、阻尼板可隔离地面振动。
尤其适合高分辨 SEM 或 AFM 配套的纳米位移台。
远离机械噪声源
避免空调、真空泵、风扇、电机等靠近。
对震动敏感的实验，可采用软管延长管道或远程泵。
固定支撑结构
位移台和样品支架应紧固，避免松动。
轻微松动也会被放大为微米级振动。
三、利用闭环控制
开启光栅或电容传感器闭环反馈。
闭环可实时修正位移误差，降低环境和机械振动影响。
闭环模式尤其在高速扫描和高精度定位下效果明显。
四、温度和热扰动管理
持续运动会产生自发热，导致热膨胀或零漂。
预热位移台至工作温度，或运动间加入等待时间。
实验室温度保持稳定，可进一步降低热致振动。