
纳米位移台避免剧烈振动干扰
纳米位移台在高精度定位和扫描过程中,容易受到自身运动或外界振动的干扰,导致微米级或纳米级误差。为了保证测量和操作的稳定性,可以采取以下措施:
平滑加减速
避免突然启动或停止,在控制软件中设置加速度/减速度 Ramp,可减少超调和机械共振。
降低移动速度
高速移动易产生振动,精密扫描或定位尽量选择低速模式。
减小外界振动
使用减震平台或橡胶垫,远离泵、风扇等噪声源,固定位移台和样品支架。
闭环控制
开启光栅或电容反馈,可实时修正位移误差,降低环境干扰。
温度管理
预热位移台至工作温度,避免热膨胀或零漂,实验室温度保持稳定。