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纳米位移台在做单轴运动时，如果出现横向偏移，通常来自机械耦合、导轨误差或驱动不均匀。要提高运动的纯直线性，可从结构、控制和环境三方面着手。
降低纳米位移台横向偏移的方法
使用闭环反馈控制
开启光栅或电容传感器反馈，可实时修正横向漂移，让位移更加贴近理想直线。
优化负载安装位置
将负载放在运动中心轴线附近，避免偏心安装导致横向力矩，从而减小横向偏移。
降低移动速度并平滑加减速
高速运动和突变加速度会引起惯性侧向力，降低速度并设置缓启动/缓停止可减小偏移量。
改善机械导轨状态
导轨磨损、预紧力不足或滑块松动都会导致横向串动，定期检查紧固与润滑可显著改善。
减小外界干扰
使用减震平台，远离泵和风扇等振源；保持温度稳定以减少热致微偏移。
避免横向力输入
控制样品支架、线缆、探针等附件的位置，避免拉力或侧向应力推动位移台产生偏移。